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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空测量装置：采用进口真空计，使测量更加准确。

管道阀门：真空管道均采用不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。执行机构：真空箱开关门采用直线导轨滑动系统，手动送工件和自动或（手动）开关门可靠、安全。

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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统如下图一所示，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。

2.1操作机构

操作机构主要由操作面板和工控机组成，用于人员的操作和修改参数。具体包括系统电源开关、系统运行状态监视、故障报警与故障分析等。系统监控画面如下图二所示，参数修改画面如下图三所示。

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图一 电控系统图

图二

图三

真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

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2.4、执行机构

电气控制系统中的执行机构是完成某种功能的终器件，主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。科仪创新 - 以技术为保障，公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队，箱式氦检漏设备，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代化高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。专业定制真空标准件KF/CF/ISO/全系列各种标准规格及非标系列。

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